標準樣品基質材料為單晶矽或石英玻璃基片，材料性質穩定。在對標準樣品進行觀察時，可看到標準樣品具有良好的導電性，並且在掃描電鏡下所產生的圖形具有很好的對比度，在掃描電鏡下或光學顯微鏡下進行多次長時間的觀察後，未見標準樣品圖形或線距結構發生變形或其他損壞，即標準樣品在電子束重複照射下是穩定的。

四、標準樣品均勻性

本係列標準樣品的片內線距均勻性由德國聯邦物理研究所(PTB)使用一台大範圍計量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進行測量，40μm、20μm、10μm和5μm的線距結構的相對標準偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線距的均勻性送國家有色金屬及電子材料分析測試中心掃描電鏡實驗室進行檢查，隨機取10個標準樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個標準樣品上每種線距結構的圖像，在每個圖像上的不同位置取若幹個線距周期測量4個長度數據，其測量結果標準偏差分別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%，S1000微米一亞微米級係列標樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。

五、操作使用

使用前應認真檢查標準樣品表麵有無汙染物和損壞，因為這會影響校準。請勿使用已破損或有汙染物的標準樣品！可用清潔幹燥的空氣或氮氣清除標準樣品上的灰塵、碎片或其他汙染物，注意不要損壞標準樣品。有條件的實驗室應不定期地通過與其他標準樣品的對比來檢查標準樣品的特性和用法來確定其檢查頻率。

下麵8張照片顯示了在不同放大倍率下的漂亮圖形和長度的絕佳精度（放大觀察，蔡司電鏡）。這再次說明，標樣的無比優良和掃描電鏡（電子探針）測長的有效性和精確的程度。